技术科普 | 生物传感器制备方法之物理气相沉积(PVD)法

柏医健康 593 2024-04-12

由于物理气相沉积获得的膜层具有结构致密、厚度均匀、与基材结合力好等优点,尤其是可以制备多种功能性薄膜,因此作为一种表面改性技术,已成功应用于生物传感器制备中。

什么是物理气相沉积(PVD)技术?

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)是一种用于在固体表面上沉积薄膜的技术。它通过在真空或者低压环境中加热材料以产生蒸汽或离子,并使其沉积到目标表面上。PVD通常用于生产具有特定功能或性质的薄膜,在生物传感器电极制备中,通过精确的沉积工艺,PVD确保了传感器的一致性,提高了灵敏度和生物相容性。

PVD技术特点有哪些?

PVD技术相对于化学气相沉积方法来说,有如下特点:

  • 需要使用固态的或者熔化态的物质作为沉积过程的源物;
  • 源物质要经过物理过程进入气相;
  • 需要相对较低的气体压力环境;
  • 在气相中及衬底表面并不发生化学反应。

PVD技术主要分类有哪些?

按照沉积时物理机制的差别,物理气相沉积一般分为真空蒸镀技术、溅射沉积技术、离子镀膜技术等。主要优缺点如下表所示。

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主要PVD技术分类

PVD技术在生物传感器领域的应用

柏医健康采用PVD与激光切割相结合方法制备高性能表现的生物传感器,在环保、高精度、高一致性上有更大优势。

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柏医健康定位:CGM及生物电极解决方案提供商

参考文献:

[1] 王福贞, 马文存. 气相沉积应用技术[M]. 北京:机械工业出版社, 2006, 10.
[2] 陈向阳, 张瑾. 气相沉积技术研究现状与进展. 安徽省机械工程学会成立周年论文集.

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